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              比利時微電子研究中心發(fā)布新方法 可解決1nm節(jié)點互連發(fā)熱問題

              2021-08-20 16:09:30    來源:芯東西

              近日,比利時微電子研究中心(IMEC)發(fā)布了1nm 工藝下金屬互連的新方法,解決了 1nm 節(jié)點互連發(fā)熱問題。

              事實上,IMEC 已經(jīng)成為了全球半導體生態(tài)中的重要一環(huán),在先進制程工藝的開發(fā)中有著舉足輕重的地位,和美國英特爾、IBM 并稱微電子領(lǐng)域“3I”。

              而隨著全球開始關(guān)注半導體問題,IMEC 由于其重要性也受到了越來越多的關(guān)注。在上個月白宮對美國供應(yīng)鏈的評估中,IMEC 和荷蘭光刻機廠商 ASML 一并出現(xiàn)在了報告中。用一位業(yè)內(nèi)人士的話說,IMEC 是一個很少有人知道,但是每個人都應(yīng)該知道的地方。

              彭博社也對 IMEC 的首席執(zhí)行官 Luc Van den hove 進行了采訪,以下是芯東西在不改變原意前提下進行的編譯。

              一、中試線工藝超 5nm 2-3 代,價值超 25 億歐元

              1984 年,幾位比利時的大學教授向比利時弗拉芒大區(qū)政府提議,建設(shè)一個微電子研究中心,解決高校科研和產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的問題。

              弗拉芒大區(qū)政府很快就同意了這一建議,投入了價值 6200 萬歐元的比利時法郎,建立了 IMEC。一開始,IMEC 的資金大多由政府提供。

              很快,IMEC 設(shè)計出一種新的合作模式,也就是IMEC 工業(yè)聯(lián)盟項目(IIAP)。在這樣的合作模式下,廠商需要向 IMEC 提供入會費和年費。入會后,廠商就可以與 IMEC 合作開發(fā)技術(shù)。項目中,IMEC 掌握研發(fā)決策權(quán)與各方信息,但是各家廠商也可以向 IMEC 提出自己的質(zhì)疑,糾正其決策錯誤。

              因為有了眾多廠商的參與與資金支持,IMEC 擁有1 條 200mm(8 英寸)和 1 條 300mm(12 英寸)晶圓中試線。其中 300mm 中試線配備有 EUV 光刻機等最先進的設(shè)備,價值 25 億歐元(約合 30 億美元,210 億人民幣),比臺積電、三星電子量產(chǎn)的 5nm 工藝領(lǐng)先 2 到 3 代,讓 IMEC 的研究人員可以研究 2nm 及以下的節(jié)點工藝。

              今年 5 月份,英特爾首席執(zhí)行官 Pat Gelsinger 評價 IMEC 和 ASML 是歐洲的 2 顆寶石。

              二、專注芯片節(jié)點演進,曾聯(lián)手華為、中芯國際、高通研發(fā)先進制程

              近年來,隨著芯片制程工藝的不斷發(fā)展,摩爾定律正在逐漸失效。很多國家都在研發(fā)氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、氧化鋅(ZnO)和金剛石等寬禁帶半導體。

              IMEC 的首席執(zhí)行官 Luc Van den hove 則認為,這類半導體的市場有限:“我們相信硅是完美的平臺。”而IMEC 會繼續(xù)將芯片節(jié)點縮小到 1nm 以下。

              對于芯片技術(shù)的前景,Luc Van den hove 則認為這將為很多行業(yè)帶來發(fā)展。此外,IMEC 在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、生命科學等領(lǐng)域也有著較強的研發(fā)實力。Luc Van den hove 談到生命科學中的一些應(yīng)用將會在 5 年內(nèi)帶來“巨大的繁榮”,通過結(jié)合這些前沿技術(shù),人們可以做到一些非凡的事情。

              IMEC 此前也與中國公司、機構(gòu)進行過一系列合作。2015 年,IMEC 與中芯國際、華為、高通四家公司宣布共同投資中芯國際集成電路新技術(shù)研發(fā)(上海)有限公司,開發(fā)下一代 CMOS 邏輯工藝;今年 2 月,IMEC 還成為了無錫半導體行業(yè)協(xié)會的會員單位。

              三、受美國重點關(guān)注,IMEC CEO 稱需保持冷靜

              IMEC 強大的研發(fā)能力也吸引了美國的注意。

              新美國安全中心(Center for a New American security)技術(shù)和國家安全項目主任 Martijn Rasser 稱,在美國政府與歐盟所建立的科技聯(lián)盟中,IMEC 可能會是其中的重點。

              美國中情局(CIA)的前技術(shù)和創(chuàng)新工作人員也提到,由于 IMEC,其所在的比利時魯汶成為了政治人士和行業(yè)所關(guān)注的中心。

              Luc Van den hove 就此事透露,IMEC 正在就此事進行討論。因為 IMEC 渴望“以積極的方式推動行業(yè)發(fā)展,所以無論 IMEC 能夠做什么來支持(行業(yè)發(fā)展),都會接受這些討論”。

              不過這也引發(fā)了一些技術(shù)上的盜竊行為。Luc Van den hove 稱,IMEC 遇到過一些員工不按照其行為準則和價值觀行事的案件。他補充道,這樣的現(xiàn)象并不局限于任何一個國家。

              Luc Van den hove 提到,IMEC 當前研究能力并沒有因為政治壓力而受到損害,“但是我們也必須面對現(xiàn)實,接受地緣政治緊張局勢正在加劇的事實。”

              雖然如此,Luc Van den hove 說,各類前沿技術(shù)仍將帶來巨大的機會,保持冷靜非常重要。

              結(jié)語:IMEC 成功關(guān)鍵在于合作、中立

              IMEC 作為半導體制程的重要參與者,其成功的原因之一就是開放、中立的國際合作模式。在這樣的模式下,IMEC 推動整個半導體行業(yè)的發(fā)展,也匯聚了包括中國在內(nèi)的全球各國技術(shù)人才。

              而在當前較為緊張的地緣政治下,美國等對其所施加的政治壓力,如果影響到了其中立的立場,或許將會動搖 IMEC 立身之本。

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