遼寧半導體裝備產業初具規模 相關公司/供圖

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證券時報記者 孫憲超

在東北老工業基地遼寧，以半導體為主業的遼籍上市公司已有5家，若再加上新三板公司中科儀、現有業務囊括半導體裝備業務的新松機器人、擬上市企業和研科技等，遼籍半導體產業集群已經初具規模。

近日，證券時報記者實地采訪時了解到，借助資本市場的力量，遼寧半導體企業發展速度得到進一步提升，遼寧有望成為國內半導體裝備產業的“第三極”。預計到2024年，遼寧沈陽的半導體裝備產業總產值將會超過100億元。

迎來收獲期

據遼寧省半導體行業協會秘書長、富創精密董事長兼總經理鄭廣文介紹，早在本世紀初期，遼寧省相關政府部門、學界人士和企業家通過反復討論達成共識，將半導體裝備產業確定為發展方向，經過20多年的不懈努力，厚積薄發，如今終于迎來收獲期。

程龍目前擔任新松機器人半導體裝備業務負責人，在新松機器人內部，程龍和他的半導體裝備團隊被寄予厚望。

“目前，公司半導體設備產業化應用已初具規模，產品包括大氣機械手、真空機械手等系列產品，以及設備前端模塊（EFEM）、真空傳輸平臺，主要應用于薄膜、離子注入等工藝環節及領域，廣泛服務于硅片生產、晶圓加工、先進封裝及封裝測試等半導體制造全產業鏈，服務的下游行業主要是半導體工藝設備廠商。”程龍向證券時報記者表示。新松機器人的全資子公司沈陽新松半導體設備有限公司主營為半導體裝備業務，以子公司經營平臺的形式獨立發展，意味著該公司將集中人才、資金等優質資源，為半導體子公司賦能，加速使其發展成為公司支柱業務之一。

在遼寧省上市公司當中，芯源微、神工股份、拓荊科技、富創精密、連城數控等5家公司的主業均是與半導體相關。其中，芯源微是國內唯一能夠提供前道量產型涂膠顯影設備的廠商，同時，其在前道物理清洗、后道先進封裝及化合物半導體等領域也都保持著國內細分市場的龍頭地位；拓荊科技是國內唯一一家產業化應用的集成電路PECVD、SACVD、HDPCVD設備廠商，也是國內領先的ALD設備廠商；富創精密是國內半導體設備精密零部件的領軍企業；神工股份主要生產半導體用單晶硅材料等；連城數控是光伏及半導體行業所需晶體材料生長、加工設備及核心技術等多方面支持的集成服務商。另外，新三板掛牌企業中科儀是國內唯一在集成電路領域實現批量應用的干式真空泵企業；擬上市公司和研科技主要生產半導體用劃片設備等。

鄭廣文說，遼寧省半導體裝備產業目前已處于國內第一陣營，在該領域的優勢十分明顯。

“近20余年來，遼寧推動產業自主發展，集聚和培育出了一批優勢骨干企業，如今這些半導體企業終于迎來厚積薄發。繼上海及周邊地區、京津冀地區之后，遼寧省已經成為國內半導體裝備產業‘第三極’?！背听埥榻B。

值得注意的是，遼寧省的半導體企業之間有著較為緊密的聯系，鄭廣文系芯源微董事，鄭廣文旗下的沈陽先進制造技術產業有限公司是芯源微第一大股東，中科儀系拓荊科技的股東。

“遼寧省的半導體產業在近年來發展速度很快，一個重要原因是這些企業抱團發展，而非各自為戰?！编崗V文認為。

解析產業鏈

遼寧省擁有相對完整的半導體裝備產業鏈。據遼寧省社科院產業經濟研究所副所長姜瑞春介紹，半導體產業鏈上游包括零部件、材料和控制單元，目前遼寧擁有富創精密、新松機器人、中科儀、沈陽硅基、中科博微等上游企業，能夠供應反應腔、真空干泵、機械手、控制軟件、SOI材料等零部件和控制系統。

“遼寧省半導體產業在精密零部件領域完成了精密切削、精密表面處理、特種焊接技術研發，特種表面處理生產線國際一流、亞洲第一，核心技術打破了國外對中國半導體產業的技術封鎖。真空獲得與應用技術、晶體生長關鍵技術達到國際先進水平。真空密封技術攻克了技術難關，達到國內領先水平?！苯鸫罕硎尽?/p>

據介紹，半導體產業鏈中游為整機設備制造商，目前遼寧省擁有芯源微、拓荊科技、儀表院等企業，可以進行薄膜設備、涂膠顯影機、劃片機等半導體整機制造和系統集成。半導體產業鏈下游主要應用于集成電路制造、封測企業，目前遼寧從事集成電路制造的企業主要是中電科第47所和儀表院等研究部門。

證券時報記者在采訪中獲悉，“十三五”期間，遼寧省沈陽市的IC裝備產業實現連續五年穩定快速增長，年均增長率達到10.1%，已經形成了“一項控制系統技術、八類重要整機裝備、一批關鍵單元部件和一個精密零部件支撐平臺”的配套體系和批量生產能力。

在遼寧省相關上市公司當中，富創精密目前已經成為全球為數不多的能夠為7納米工藝制程半導體設備批量提供精密零部件的廠商。芯源微前道涂膠顯影機與各廠家主要技術節點的國際主流光刻機都能聯機量產，特別是28納米浸沒式涂膠顯影機已經實現了國內28納米及以上制程工藝的全覆蓋。PECVD 設備是拓荊科技的核心產品，也是芯片制造的核心設備之一，拓荊科技已經形成了覆蓋全系列 PECVD 薄膜材料的設備。新松機器人是國內領先的真空機械手及集束型設備的生產制造商。連城數控第三代半導體碳化硅長晶設備已形成批量訂單，磨床、滾圓機等晶體加工設備已經在客戶端形成批量訂單。

遼寧省半導體企業發展勢頭很快。2022年，拓荊科技營收同比增長125.02%、凈利潤同比增長438.09%；富創精密營收和凈利分別同比增長83.18%和94.19%；芯源微營收和凈利分別同比增長67.12%和158.77%。相關上市公司的業務增速很快，不過體量仍然不是很大。2022年，芯源微、拓荊科技、富創精密分別實現營業收入13.85億元、17.06億元、15.44億元。

“遼寧省的半導體裝備企業主要集中在沈陽市，芯源微、拓荊科技、富創精密、中科儀、和研科技和新松機器人等素有‘六小虎’之稱?！编崗V文介紹，預計到2024年，遼寧省沈陽市半導體裝備產業的總產值將會超過100億元。

據了解，截至2022年12月31日，拓荊科技在手銷售訂單金額為46億元（不含Demo訂單），2022年簽訂銷售訂單金額為43億元（不含Demo訂單）。截至2023年3月末，連城數控設備類產品在手訂單金額為72.6億元左右。2022年，芯源微新簽訂單22億元。

借力資本市場

科創板的推出、北交所的成立，為遼寧省半導體企業實現上市目標提供了重要的發展契機。以芯源微為例，2019年上市時的年收入為2.1億元，2022年已經增長至13.8億元，年復合增長率達到87.3%。芯源微在上市之后實施了股權激勵政策，已經有共計139人次的核心技術人員和管理骨干得到股權激勵。面對半導體市場發展過熱和挖角跳槽，芯源微在團隊穩定和潛力研發方面具有高度的穩定性，在穩定住自己團隊的同時，還吸引了國內外高端人才的加盟，得以持續提升研發能力、開拓國際視野。

連城數控相關負責人告訴證券時報記者，公司在北交所上市給公司帶來明顯的引領帶動效應，主要體現在公司資源獲取和整合能力加強，與產業鏈上下游、金融資本、科研院所的協同合作更加緊密；擴展了公司融資途徑，融資成本降低；公眾形象和品牌知名度提高，公信力獲得社會廣泛認可；有效實現了核心員工長期激勵，對人才尤其是高端人才吸引力增強；內部管理流程不斷優化，公司治理結構不斷完善。

拓荊科技董事會秘書趙曦說，公司IPO募集資金22億元，為公司的高質量發展提供了有力的資金支持。公司上市后，持續加大產品研發投入的強度，提升技術研發水平，產品結構不斷優化，產品競爭力持續增強，業務規模維持高增長趨勢。

有業內人士指出，隨著A股市場進入全面注冊制時代，遼寧省應該進一步發揮資本市場的資源配置功能，促進技術創新和轉化就用，推動遼寧省壯大優質半導體企業群體。

姜瑞春表示，遼寧省半導體上市企業目前已經開始發揮巨大的集聚帶動作用，這些企業吸引了一大批加工配套和上下游關聯企業，進一步提高了產業集聚度、擴大了產業規模、拉長了產業鏈條，從而加速了地區產業集群化發展，形成不同的產業生態圈，為遼寧省經濟社會發展帶來巨大的發展新動能。

“未來遼寧省應該不斷把握資本市場改革節奏，充分激發遼寧省在智能裝備制造、半導體芯片制造設備領域的產業底蘊和科技優勢，把儲備上市資源、推動企業上市與遼寧省創新驅動發展、‘數字遼寧、智造強省’建設等重大戰略部署統籌謀劃，推動遼寧半導體板塊在資本市場上快速擴容?！苯鸫赫J為。

產業優勢何在

在很多人的印象當中，遼寧省作為老工業基地，支柱產業以重工業為主，似乎很難將其與半導體這類戰略新興產業聯系在一起。

談及遼寧省為何能夠發展起半導體產業時，姜瑞春說，遼寧省工業基礎雄厚，具備能夠生產大國重器、保障國防安全的特色產業優勢，這也成為該省發展半導體產業的重要優勢。當前遼寧省產業門類完整性、工業體系完備性仍居全國領先水平，在國民經濟行業的41個工業大類中擁有40個（缺少其他采礦業），207個工業中類中擁有197個。遼寧省在新材料、精細化工、高端裝備制造、半導體芯片制造設備和工業基礎軟件等領域具備產業底蘊和科技優勢，具備在這些領域解決一批重大難題的基礎和優勢，在提升我國產業鏈供應鏈穩定性和競爭力上發揮重要作用。

“遼寧省擁有大批高素質的工程師人才和優秀的產業工人，具有濃厚的工業文化，具備發展半導體等精密裝備產業集群的深厚根基。”鄭廣文認為。

趙曦說，遼寧省擁有多個高等院校，為半導體產業的快速發展提供了重要的人才資源。

據了解，遼寧省作為科教大省，科教資源密集，有高校100多所，其中“雙一流”高校4所。遼寧科研機構眾多，共有1652家，包括中科院所屬的大連化學物理研究所、金屬研究所、沈陽應用生態研究所、沈陽自動化研究所等6家，這些都為遼寧省發展半導體產業提供了重要的“智力”支持，遼寧上市半導體企業均與省內科研院所和大學建立了密切的產學研合作。

值得一提的是，在一些遼寧省半導體企業身上可以看到“中科院基因”。例如，芯源微是由中科院沈陽自動化研究所發起創立的國家級高新技術企業; 新松機器人是中國科學院沈陽自動化研究所控股的創業板上市公司；中科儀的全稱是中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司，持股35.21%的大股東國科科儀控股有限公司系中國科學院控股有限公司 100%控股企業，后者由中國科學院100%持股;富創精密第一大股東是沈陽先進制造技術產業有限公司，中國科學院沈陽自動化研究所曾是后者的主要發起股東，于2013年退出。

“像中科院這種科研院所對于地方相關產業的帶動作用非常明顯?！背听埍硎尽?/p>

短板有待補齊

雖然近年來遼寧省的半導體產業呈現出快速發展的態勢，但是同國內一些經濟發達區域相比，還存在一些短板有待補齊。

據姜瑞春介紹，遼寧省發展半導體產業，首先面臨的就是資金瓶頸問題。目前，遼寧半導體產業正處于發展壯大的關鍵期，迫切需要金融資本快速跟進。金融機構針對半導體企業政策創新不足，使得融資難、融資貴等問題造成企業產業化速度緩慢。

其次是半導體市場競爭壓力不斷加大。國產設備整體水平落后于國外，在激烈的市場競爭中不占優勢，國產設備進入主流產線壓力較大。

最后是專業人才短缺。掌握核心技術的高端人才是半導體產業發展的關鍵，目前遼寧乃至全國半導體產業領域均存在人才缺口，而東北地區限于經濟發展水平對人才吸引力有限。

“解決現階段遼寧省半導體產業發展過程中面臨的問題和不足，需要相關政府部門和金融機構等進行聯動。”姜瑞春說，在解決資金瓶頸方面，應該加強專項資金配套、科研攻關、技改貸款貼息、人才引進等支持力度。通過加強與金融機構互信合作，推進銀行、保險、擔保等各類金融機構對重點項目建設的支持力度，培育優勢企業上市及發債融資。對有基礎、有特色、有優勢的重點領域試行專項支持政策。

面對日益加大的市場競爭，遼寧省應該以半導體整機裝備、零部件、材料為重點，打造國家半導體裝備制造產業基地。以推動產業鏈建設為主線，做大做強一批整機裝備和關鍵零部件制造企業。改變國產半導體整機裝備和零部件基礎能力薄弱和關鍵技術受制于人的現狀，引領遼寧半導體裝備制造業向高端化轉型升級。

“為了解決人才短缺問題，遼寧省應該以半導體裝備為重點，放寬高級人才認定標準，加大高端人才獎勵力度?！苯鸫赫f。

一位遼寧省當地人士表示，長三角地區、京津冀地區都有具備全國影響力的晶圓制造和封裝企業，能夠與產業鏈上游的設備、設計企業密切互動，有利于設備和材料企業的快速驗證和技術迭代，形成產業鏈閉環和良性發展。目前遼寧省內的英特爾/海力士對產業鏈和供應鏈的拉動力度較弱，需要政府層面進一步加大政策傾斜和招商力度，吸引有影響力的晶圓和封裝企業落地，這事關遼寧省半導體產業的長遠發展。

“與上述區域相比，遼寧的產業發展專項資金和政府產業引導基金相對較少，在重大應用示范、重大關鍵技術研發、重大支撐體系建設等方面上扶持力度還顯不足。”這位人士說，近年來，遼寧省半導體產業人才流失嚴重，長期看必然會損害遼寧省發展半導體產業的人才基礎，需要引起相關政府部門的高度重視。

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