北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱“華卓精科“)于科創板成功過會。

華卓精科主營業務為超精密測控設備，產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學、醫療等行業。

光刻機工件臺是光刻機的 3 大核心部件之一，華卓精科是國內首家自主研發并實現光刻機雙工件臺商業化生產的企業，也是國內光刻機龍頭上海微電子的供應商。

目前，華卓精科的 DWS 系列雙工件臺可用于 65nm 及以上節點的 I-line、KrF 和 ArF 干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。

今年 7 月 29 日，華卓精科的上市委會議結果為暫緩審議，上市委現場詢問了有關其光刻機雙工件臺的產業化前景、其技術研發是否依賴清華大學、以及 2019 年和 2020 年第四季度的大額銷售收入等事項。

報告期內，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018 年、2019 年、2020 年其營收分別為 8570 萬元、1.21 億元和 1.52 億元。

本輪 IPO，華卓精科計劃募資 7.35 億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發制造、超精密測控產品長三角創新與研發中心、集成電路裝備與零部件產品創新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發 4 個項目。

華卓精科的董事、核心技術人員、首席科學家朱煜為公司的控股股東和實際控制人，其實際控制股份比例為 54.23%。上會稿顯示，朱煜為清華大學長聘教授，華卓精科的一眾高管也都有清華背景。

01. 營收持續增長，超精密測控裝備為主要收入來源

根據上會稿，華卓精科在報告期內營收持續增長，且增速較快。華卓精科 2018 年-2020 年各期營收分別為 8570.92 萬元、1.21 億元和 1.52 億元。其 2019 年營收增幅達 41.14%，2020 年營收增幅則為 25.94%。

凈利潤方面，華卓精科 2018 年、2019 年、2020 年凈利分別為 1512.36 萬元、2087.24 萬元和 1242.83 萬元。

上會稿稱，華卓精科其營收增速較快主要是因為下游終端市場需求旺盛以及半導體設備國產替代趨勢的影響。2020 年，華卓精科凈利潤下降較多，則由于其管理費用、貸款利息、計提預計信用損失大幅增加。

具體來說，華卓精科的營收組成可分為超精密測控裝備部件、超精密測控裝備整機與其他 3 類。

其中，超精密測控裝備部件主要為精密運動系統及技術開發、光刻機雙工件臺模塊及技術開發、經典卡盤及技術開發和隔振器 4 類;超精密測控裝備整機則可以分為晶圓級鍵合設備及技術開發與激光退火設備。

華卓精科的主要收入來源為精密運動系統及技術開發，在報告期內其業務營收組成比例波動較大。2020 年光刻機雙工件臺收入占其總營收的 11.42%，在 2019 年該項收入則為 0。

上會稿稱，光刻機雙工件臺技術開發難度較大。2019 年，上海微電子作為國內唯一的光刻機整機廠商未完成對合同內容驗收，因此華卓精科該業務收入為 0。

從客戶情況來說，華卓精科主要客戶為半導體等領域的企業，高校客戶收入占比較低。中科飛測、上海微電子在報告期內一直為華卓精科的前五大客戶。

2018 年-2020 年，華卓精科向前五大客戶的銷售收入占主營業務收入比例分別為 50.23%、53.57% 及 58.03%。雖然前五大客戶的銷售占比不高，但上海微電子是國內唯一的光刻機整機廠商，所以一定程度上華卓精科光刻機雙工件臺的商業化前景取決于上海微電子的光刻機整機銷售情況。

在原材料采購方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎材料、電氣類、機械類和光學類。2020 年，華卓精科對機械類和電氣類原材料采購金額較高，占比合計達 76.39%。

2018 年-2020 年華卓精科向前五大供應商合計采購金額占比分別為 37.69%、29.41% 及 20.63%，呈下降趨勢。翟柯萊姆達、Zygo Corporation 和山東鑫磊精密機械有限公司在 2019 年和 2020 年是華卓精科的前五大供應商。

02. 產品填補多項國產空白，光刻機雙工件臺存在制程差距

對光刻機市場來說，主要廠商有荷蘭 ASML 和日本尼康、佳能和中國上海微電子 4 家。

尼康和佳能主要采用“In House”生產模式，即光刻機的主要子系統均由整機廠研發和生產。ASML 早期采用“Out House”生產模式，即僅負責整機的設計和子系統的需求定義，子系統由第三方廠商進行生產。2010 年后，ASML 也開始自行設計工件臺。

上會稿指出，無論上述整機廠商采取何種研發、生產模式，其工件臺均不單獨對外銷售。這也意味著華卓精科對于光刻機的國產化替代較為重要。

和 ASML 所使用的光刻機雙工件臺對比，華卓精科的 DWS 系列產品和 ASML 的干式深紫外(DUV)光刻機雙工件臺處于同一架構，但性能有所落后;華卓精科的浸沒式 DWSi 系列產品尚未完成研發;在極紫外(EUV)領域，華卓精科并未推出產品。

截至最新的上會稿簽署，華卓精科 DWS 系列光刻機雙工件臺累計發貨 4 臺，仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子的最終驗收。

此外，在精密運動系統、晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤等不同的市場，華卓精科還需要面對不同的國內外競爭對手。這些對手既有 Aerotech、應用材料、泛林半導體、東京電子、住友重工等國外巨頭，也有中微公司、長川科技、北方華創等國內半導體設備廠商。

相對來說，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶資源較為劣勢等差距。此外，華卓精科的晶圓級鍵合設備、激光退火設備等仍處于小批量定制生產階段，未實現規模化量產，其光刻機雙工件臺也尚未通過下游客戶驗收。在產線豐富度和產品性能上，華卓精科同樣和行業龍頭存在差距。

盡管華卓精科的產品和行業龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富的技術積累，其產品填補了多項國內空白，促進了半導體制造設備和核心部件的國產替代進程。

截至 2021 年 6 月 30 日，華卓精科共擁有 198 項專利以及 1 項專利獨占權，其中包括發明專利 148 項、實用新型 43 項、外觀設計 2 項、美國專利 5 項。

因為朱煜是清華大學的長聘教授，華卓精科與清華大學存在較為密切的技術交流、合作。上會稿寫道，華卓精科承接了清華大學原發技術積累，并在報告期內委托清華大學進行了 65nm 雙工件臺關鍵技術測試開發項目。

華卓精科與清華大學作為共同專利權人擁有的專利共計 162 項，其中協議轉讓方式獲取的專利 115 項、委托開發方式獲取的專利 30 項、合作研發方式獲取的專利 17 項，清華大學授權華卓精科獨占實施許可的專利 1 項。

03. 研發團隊占比超 30%，2 名核心技術人員系清華兼職

華卓精科研發人員共有 133 人，占員工總數比例為 33.08%。核心技術人員共有 7 人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術人員。

朱煜 2001 年于中國礦業大學獲機械設計及理論專業博士學位。畢業后，朱煜曾先后于中國礦業大學和清華大學從事教學和博士后工作。2004 年 10 月至今，朱煜為清華大學教授，也是科技部重點領域創新團隊負責人及國家 02 科技重大專項技術副總師。此外，朱煜在全球擁有授權專利 227 項，其中發明專利 173 項;他還發表了 200 余篇論文，出版專著 2 本。

2007 年和 2016 年，朱煜曾在北京七星華創電子和北方華創任獨立董事;2012 年 5 月至 2015 年 7 月，他任華卓有限董事長兼總經理;2015 年 8 月至 2015 年 9 月，朱煜為華卓精科董事長;2015 年 9 月至今，他擔任華卓精科董事、首席科學家。值得一提的是，朱煜也是國產 CMP 廠商華海清科的股東，擁有華海清科 4.98% 的股份。

張明 2005 年于清華大學獲機械工程專業博士學位。1999 年 3 月至 2000 年 7 月，他在中國運載火箭技術研究院任助理工程師;2005 年 7 月，張鳴在清華大學任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017 年 8 月，張鳴任華卓精科技術顧問;2018 年 2 月起，他開始擔任華卓精科董事。

張鳴曾參與過國家重大專項、973 計劃、863 計劃等 6 項國家級項目，發表論文 66 篇，其中 SCI 期刊收錄 17 篇。目前，張鳴擁有國家授權專利 164 項，其中發明專利 147 項。

當前朱煜、張鳴已取得清華大學兼職批復，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續向清華大學辦理兼職批復，繼續從事兼職工作;如果未能取得清華大學同意兼職的批復，則將從清華大學辦理離職手續并全職在華卓精科工作。

04. 朱煜實際控股比例過半

根據上會稿，朱煜直接持有華卓精科 35.72% 的股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有 5.45% 的股份。而華卓精科的徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮 7 名股東合計持有 13.06% 的公司股份，并于與朱煜保持一致行動關系。所以朱煜實際控制的股份比例為 54.23%，是華卓精科的實際控制人和控股股東。

此外，持有華卓精科股份比例超過 5% 的股東還有水木愿景和水木長風兩家公司，持股比例分別為 8.75% 和 6.78%。華卓精科董事長吳勇為水木愿景、水木長風和吳勇本人推薦擔任。

05. 結語：產學合作填補空白，需要面對多領域巨頭競爭

與此前過會的華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學的技術積累，并通過“產學研用”模式，將學術成果轉化為商用化產品，填補了我國光刻機工件臺這一半導體核心部件的空白。

因此，華卓精科如果能夠上市成功，對我國光刻機的國產替代有著積極意義。但同時，華卓精科的產品業務較多，部分產品尚未規模化量產，能否在這些已經比較成熟的行業獲得成功仍需觀望。