默克公司今(8)日宣布與美光科技合作開(kāi)發(fā)用于半導(dǎo)體工藝、能降低全球變暖趨勢(shì)的氣體解決方案。

默克表示，經(jīng)過(guò)一年的持續(xù)合作，美光科技目前正在測(cè)試默克研發(fā)部門提供的低 GWP 替代性蝕刻氣體，以驗(yàn)證其制程性能，從而取代傳統(tǒng)的高 GWP 材料，目標(biāo)在半導(dǎo)體制程中導(dǎo)入全新且更具可持續(xù)性的氣體解決方案。兩家公司皆致力于發(fā)掘有助實(shí)現(xiàn)永續(xù)發(fā)展目標(biāo)的新穎材料，以取代現(xiàn)行應(yīng)用于干蝕刻與光罩清洗制程的多種高暖化潛勢(shì)的蝕刻氣體。

美光科技副總裁 John Whitman 表示，為達(dá)成在 2030 年減少 42% 的全球運(yùn)營(yíng)所造成的碳排放(相較于 2020 年)這一目標(biāo)，美光科技投入于投資先進(jìn)的減排系統(tǒng)、優(yōu)先使用全球暖化潛勢(shì)較低的氣體、外購(gòu)節(jié)能設(shè)備、以可再生能源石化取代能源等方面。

關(guān)鍵詞： 半導(dǎo)體工藝 美光科技 蝕刻氣體 可再生能源