2021年11月5日，中國上海——11月5日至10日，全球芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者ASML（阿斯麥）再度亮相第四屆中國國際進口博覽會（以下簡稱“進博會”）， 展臺號4.1 A1-001。 ASML以“光刻未來，攜手同行”為主題，首次在進博會平臺上以視頻形式展示了光刻機內(nèi)部各個模塊之間的基本原理，并展示了ASML“鐵三角”業(yè)務(wù)——全方位光刻解決方案，持續(xù)傳遞ASML深耕中國市場，推動中國乃至全球半導(dǎo)體行業(yè)共同發(fā)展的愿景。
ASML展臺首日迎來眾多專業(yè)觀眾
近年來，中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，為了聚焦產(chǎn)業(yè)前沿方向，深化合作和開放理念，技術(shù)裝備展區(qū)首次設(shè)立了集成電路專區(qū)，而ASML便是在集成電路專區(qū)亮相。“近年來，中國集成電路行業(yè)發(fā)展十分強勁，增設(shè)集成電路專區(qū)有助于加強國內(nèi)外集成電路產(chǎn)業(yè)間的交流，為加快構(gòu)建新發(fā)展格局貢獻力量。” ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波表示，“今年是ASML第三次參加進博會。進博會持續(xù)展現(xiàn)了中國繼續(xù)擴大開放和推動創(chuàng)新的決心，ASML也正是抱著開放合作的態(tài)度多次參與進博會。我們希望能夠借助進博會的平臺進一步展示ASML領(lǐng)先的光刻解決方案和卓越的服務(wù)，深化與本土客戶的合作，與中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈共同成長，并為中國半導(dǎo)體行業(yè)培養(yǎng)和輸送優(yōu)秀人才。”
首次揭秘光刻機的內(nèi)部世界
一直以來，ASML不斷精進光刻精度，推進摩爾定律前進。為了更好地展示ASML領(lǐng)先的光刻工藝，ASML在本屆進博會上首次通過3D裸眼視頻為觀眾分享光刻機的基本原理——光源經(jīng)過照明模組投向掩模版，再穿過掩模版上的電路圖案，通過投影物鏡將影像聚焦到晶圓上。
此外，ASML還通過H5游戲的方式為觀眾帶來了線上“追光實驗室”，為參觀者打造了一座沉浸式體驗光刻原理的虛擬互動實驗室，從而體驗浸潤式光刻系統(tǒng)與雙晶圓工作臺等尖端前沿的光刻技術(shù)。
展示“鐵三角”光刻全方位解決方案
1984年以來，ASML的光刻解決方案在微小的世界中實現(xiàn)了巨大的飛躍，通過硬件、軟件相結(jié)合，ASML提出了全方位的光刻解決方案，以先進控制能力的光刻機臺，計算光刻和電子束量測，通過建模、仿真、分析等技術(shù)，不斷提高邊緣定位精度，持續(xù)賦能每一代芯片的制造，提高芯片生產(chǎn)的良率和產(chǎn)能。
在ASML的計算光刻解決方案中，機器學(xué)習(xí)和大數(shù)據(jù)將發(fā)揮突出的作用，實現(xiàn)對整個光刻和量測過程的高精度預(yù)測，幫助芯片制造商優(yōu)化制造流程，以最低的成本實現(xiàn)最高的性能。而量測檢驗系統(tǒng)將通過使用多個電子束快速測量晶圓上的所有數(shù)據(jù)點，幫助芯片制造商有效地控制芯片缺陷率。
推動半導(dǎo)體行業(yè)不斷突破極限，促進行業(yè)人才發(fā)展
近年來，隨著5G、人工智能和物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，對于更智能、更小、更快、更節(jié)能的芯片的追求推動著半導(dǎo)體行業(yè)加速前進。自1988年向中國提供第一臺光刻機開始，ASML便與中國深深結(jié)緣。2000年， ASML中國正式成立。為了不斷滿足中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展需求，更好地支持和服務(wù)本土客戶，ASML還于近期著手建設(shè)本地維修和軟件研發(fā)能力。
沈波表示：“半導(dǎo)體是一條高度全球化的產(chǎn)業(yè)鏈，開放合作是最核心的行業(yè)發(fā)展理念，ASML的光刻機也依賴于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全球合作生產(chǎn)。中國的半導(dǎo)體行業(yè)正進入快速發(fā)展的新階段，對創(chuàng)新的光刻解決方案和優(yōu)秀人才的需求與日俱增。”
作為行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，ASML也加快為中國半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)分享經(jīng)驗并培養(yǎng)技術(shù)研發(fā)人才。一直以來，ASML在中國持續(xù)踐行企業(yè)社會責(zé)任，牽手公益基金開展各類項目助力青年科技人才培養(yǎng)；2018年，ASML在上海成立了全球培訓(xùn)中心，加深了本土光刻人才的發(fā)展。2021年，ASML開放了大量軟硬件人才的職位，覆蓋全方位光刻解決方案的各塊業(yè)務(wù)。秉承驅(qū)動半導(dǎo)體各種創(chuàng)新應(yīng)用幫助解決人類生活中的各種挑戰(zhàn)，ASML攜手業(yè)內(nèi)人士、客戶和行業(yè)伙伴共同拓展光刻技術(shù)的邊界，為實現(xiàn)人類更智慧、更美好的生活賦能。
關(guān)于ASML阿斯麥光刻
總部位于荷蘭的ASML是全球芯片制造設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商，并且是芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者。我們的愿景是驅(qū)動半導(dǎo)體的各種應(yīng)用來幫助解決人類生活中各種挑戰(zhàn)。為了實現(xiàn)這個目標(biāo)，我們提供創(chuàng)新的產(chǎn)品和服務(wù)來幫助芯片制造商不斷微縮芯片。我們不斷提高產(chǎn)品的性能，以幫助客戶持續(xù)提升芯片價值并降低成本。我們致力于讓芯片的性能更強大、價格更合理，進而促使半導(dǎo)體技術(shù)能更廣泛的應(yīng)用于醫(yī)療、能源、通訊和娛樂等相關(guān)產(chǎn)品與服務(wù)中。
30多年來，ASML的成功來自于和客戶及供貨商緊密合作所共同創(chuàng)造的領(lǐng)先技術(shù)、高效能的流程和優(yōu)秀的員工。ASML在全球16個國家的60個城市設(shè)有辦公室，員工超過29000，包括中國員工1000多名。ASML為荷蘭阿姆斯特丹證券交易所和美國NASDAQ上市公司。
